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十萬級無塵車間凈化工程標準規范

更新時間:2021-10-12點擊次數:6274

潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子大濃度限值進行劃分的等級標準。用空態和靜態方法進行測試。

  十萬級無塵車間:是指空氣潔凈度為十萬級的潔凈車間。空氣潔凈度是指潔凈環境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,通常空氣中含塵濃度高則空氣潔凈度低,含塵濃度低則空氣潔凈度高。就是以每立方米空氣中的大允許粒子數來確定其空氣潔凈度等級。

  本文多角度闡述10萬級潔凈車間建造的標準規范,結合現行各規范標準,歸納出潔凈度10萬級凈化車間的特點。

  從換氣次數角度上來說:

  100000(10萬)級要求每小時換氣18-25次,換氣后空氣凈化時間不過40分鐘。

  10000(1萬)要求每小時換氣25-30次,換氣后空氣凈化時間不過30分鐘。

  1000(1千)要求每小時換氣40-60次,換氣后空氣凈化時間不過20分鐘。

  各種等級包括10萬級凈化車間潔凈度標準參考如下:

  ISO 14644 根據懸浮粒子濃度這個*指標來劃分潔凈室(區)及相關受控環境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。

  根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~5.0um)、微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

  空氣潔凈度分級標準: ISO14644-1 (標準)

空氣潔凈度等級(N)

大于或等于所標粒徑的粒子大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2





ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7


352 000

83 200

2 930

ISO Class 8


3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9


35 200 000

8 320 000

293 000

注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不過三個有效的濃度數字來確定等級水平。

  空氣潔凈度分級標準: GB/T16292-1996 (中準)

粒徑、數值潔凈度

塵埃大允許數/立方米

微生物大允許數

≥0.5um

≥5um

浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100 級

3,500

0

5

1

10,000 級

350,000

2,000

100

3

100,000 級

3,500,000

20,000

500

10

300,000 級

10,500,000

60,000

15

  英國 5295 標準潔凈室和空氣凈化裝置分級:

空氣潔凈度等級(N)

大于或等于所標粒徑的粒子大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)

0.3um

0.5um

5um

10um

25 um

C

100

35

0



D

1000

350

0

E

10000

3500

0

F


3500

0

G

100000

35000

200

0

H


35000

200

0

J


350000

2000

450

0

K


3500000

20000

4500

500

L



200000

45000

5000

M


450000

50000

  各種潔凈度標準的比較:

美國聯邦

美國聯邦

英準

澳大利亞標準

法準

德準

標準

日本標準

標準 209D

標準 209E

BS5295

AS1386

AFNORX44101

VDI2083

14644-1

JACA24







1

1





0

2

2

1

M1.5

C

0.035

1

3

3

10

M2.5

D

0.35

2

4

4

100

M3.5

E

3.5

4000

3

5

5

1000

M4.5

G

35

4

6

6

10000

M5.5

J

350

400000

5

7

7

100000

M6.5

K

3500

4000000

6

8

8



M



7

9

  綜上以上標準,可以得出10萬級無塵車間凈化對應的參數如下:

潔凈度等級

塵粒大允許數/pc.m3

換氣次數/h

氣流流型

≥0.5μm

≥5μm

100 000

3 500 000

20 000

10~15

非單向流

  10萬級無塵車間凈化標準

  1.塵粒大允許數(每立方米);

  2.大或等于0.5微米的粒子數不得過3500000個,大或等于5微米的粒子數不得過20000個;

  3.微生物大允許數;

  4.浮游菌數不得過500個每立方米;

  5.沉隆菌數不得過10個每培養皿。

  壓差:相同潔凈度等級的凈化車間壓差保持一致,對于不同潔凈等級的相鄰凈化車間之間壓差要≥5Pa,凈化車間與非凈化車間之間要≥10Pa